提高透射电子显微镜测试样品研磨效率的方法

摘要

本发明公开了一种提高透射电子显微镜TEM测试样品研磨效率的方法，用于同时研磨多于两个的样品，所述样品为具有预定厚度的矩形样品，包括样品的正面图案和背面的半导体衬底，该方法包括：对于多于两个的样品，其正面或者背面依次相互粘贴构成整体；对样品整体的两个相对侧面进行研磨，缩短样品两相对侧面间的距离；对样品整体的其中一个侧面进行研磨之后，对另一个侧面进行研磨之前，该方法还包括：在研磨之后的样品整体侧面上的目标位置处粘贴多个铜环，用于体现所研磨的每个样品的图案。采用该方法有效提高了TEM测试样品的研磨效率。

主权项

一种提高透射电子显微镜测试样品研磨效率的方法，用于同时研磨多于两个的样品，所述样品为具有预定厚度的矩形样品，包括样品的正面图案和背面的半导体衬底，该方法包括：对于多于两个的样品，其正面或者背面依次相互粘贴构成整体；对样品整体的两个相对侧面进行研磨，缩短样品两相对侧面间的距离；其特征在于，对样品整体的其中一个侧面进行研磨之后，对另一个侧面进行研磨之前，该方法还包括：在研磨之后的样品整体侧面上的目标位置处粘贴多个铜环，用于体现所研磨的每个样品的图案。