用于垂直氧化炉管的三柱石英舟

摘要

本发明公开了一种用于垂直氧化炉管的三柱石英舟，包括上盖、底板、三根垂直立柱，垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，立柱内侧设有硅片槽，第一立柱、第二立柱相对于中心立柱对称设置；所述中心立柱与两根立柱之间分别设有加强柱，加强柱的截面为半圆形。所述加强柱与相邻的立柱之间设有多根弧形的加强肋。本发明应用于常压高温条件下的垂直氧化炉管，能够在高温条件下有效延长形变周期，明显改善制品的颗粒状况，延长使用寿命，降低生产成本。

主权项

一种用于垂直氧化炉管的三柱石英舟，包括上盖、底板、三根垂直立柱，垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，立柱内侧设有硅片槽，第一立柱、第二立柱相对于中心立柱对称设置；其特征在于：所述中心立柱与两根立柱之间分别设有加强柱，加强柱的截面为半圆形。