| 发明名称 | 立体研磨盘装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种立体研磨盘装置，包括一个六面立方体，六方体的六个面上分别设有不同的研磨盘，立方体的内部设有驱动马达。所述立体研磨盘装置设置于探针台的内部。本实用新型在使用过程中无需手动交换研磨盘，可以实现研磨盘的自动交换，减少人为参与，方便而且快速，实现自动化。 | ||
| 申请公布号 | CN201881263U | 申请公布日期 | 2011.06.29 |
| 申请号 | CN201020632801.7 | 申请日期 | 2010.11.30 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 周翔;武建宏;桑浚之 |
| 分类号 | B24B37/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 张骥 |
| 主权项 | 一种立体研磨盘装置，其特征在于：包括一个六面立方体，六方体的六个面上分别设有不同的研磨盘，立方体的内部设有驱动马达。 | ||
| 地址 | 201206 上海市浦东新区川桥路1188号 | ||