金属光子晶体的溶液法制备方法

摘要

金属光子晶体的溶液法制备属于纳米光电子材料及器件技术领域。现有制备金属光子晶体的方法存在成本高、效率低，制备面积小等问题。本发明通过依次在基底上旋涂光刻胶，干涉光刻法制备一维或者二维纳米光栅结构，旋涂金属纳米颗粒溶胶和低温热处理，制得金属光子晶体。本发明方法具有成本低、效率高，可大面积制备金属光子晶体等优点。

主权项

一种金属光子晶体的溶液法制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在基底上，以1500‑4000rpm的转速，旋涂一层厚度为50‑200nm的光刻胶薄膜；2)利用干涉光刻的方法在步骤1)中制备的光刻胶薄膜上制备出一维或者二维光刻胶纳米光栅结构；3)将直径为2‑10nm的金属纳米颗粒溶解于有机溶剂中，制成70‑100mg/ml的金属纳米颗粒溶胶；4)将步骤3)中制备的金属纳米颗粒溶胶，以1500‑4000rpm的转速，旋涂在步骤2)中制备的一维或二维光刻胶纳米光栅结构上；5)将步骤4)中制备的样品在220‑300℃的加热板上加热20‑90s，得到一维或二维金属光子晶体。