发明名称 无错位结晶板的制造方法及其装置
摘要 可自熔体形成无错位板。使用冷却平板在材料的熔体上形成具有第一宽度的所述材料的板。此板具有错位。相对于所述冷却平板而输送所述板,且所述错位迁移至所述板的边缘。所述板的所述第一宽度藉由所述冷却平板而增加至第二宽度。所述板在所述第二宽度处不具有错位。在一种情况下,所述冷却平板可具有具两个不同宽度的形状。在另一情况下,所述冷却平板可具有在不同温度下操作的区段,以增加所述板的宽度。所述板可相对于所述冷却平板而被拉动或流动。
申请公布号 CN102113095A 申请公布日期 2011.06.29
申请号 CN200980130088.6 申请日期 2009.06.05
申请人 瓦里安半导体设备公司 发明人 彼德·L·凯勒曼;法兰克·辛克莱;菲德梨克·卡尔森;尼可拉斯·P·T·贝特曼;罗伯特·J·米歇尔
分类号 H01L21/304(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I 主分类号 H01L21/304(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种自熔体形成板的方法,包括:使用冷却平板在材料的熔体上形成具有第一宽度的所述材料的板,所述板具有错位;相对于所述冷却平板而输送所述板,藉此所述错位迁移至所述板的边缘;以及随着所述板相对于所述冷却平板而输送,藉由改变所述冷却平板的参数来使所述板增加至第二宽度,所述第二宽度大于所述第一宽度,所述板在所述第二宽度处不具有所述错位。
地址 美国麻萨诸塞州