一种多台多晶炉并联运行真空系统

摘要

本实用新型涉及一种多台多晶炉并联运行时的真空系统。它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，多晶铸锭炉和真空机组一一对应，各组真空机组的机械泵分别通过主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空机组的机械泵均通过管道经阀门连接至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。采用本实用新型，在保护气体模式下多台多晶炉可共用一台机械泵，实现了节能降耗的目的。

主权项

一种多台多晶炉并联运行真空系统，其中多晶铸锭炉和真空机组一一对应，所述真空机组包括机械泵和罗茨泵，其特征在于，它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，所述的各组真空机组的机械泵分别通过主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空机组的机械泵均分别通过管道经阀门连接至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。