降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置及工艺

摘要

本发明降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺装置，包括阳极筒，其特征在于所述阳极筒的外侧套装设有阳极套筒，阳极套筒由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒与阳极筒之间为小间隙配合；本发明降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺，包括如下步骤：1、室温状态下，将阳极套筒套在阳极筒的外侧；2、将上述套有阳极套筒的磁控管放入排气设备中，排气设备升温，在高温环境中将磁控管的阳极筒内的空气排出阳极筒，使阳极筒处于真空状态，然后冷却至室温；3、在室温状态下从磁控管的阳极筒上取下阳极套筒。本发明工艺装置及方法降低了阳极筒表面氧化层的厚度，提高了磁控管的散热效果，提高了磁控管的工作性能，延长了磁控管的使用寿命。

主权项

一种降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置，包括在高温环境下进行排气抽真空的磁控管阳极筒(5)，阳极筒的材料为无氧铜，其特征在于所述阳极筒(5)的外侧套装设有阳极套筒(4)，阳极套筒(4)由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒(4)与阳极筒(5)之间为小间隙配合，该小间隙为0＜w≤0.5mm。