| 发明名称 | 治具及清洗机 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种治具及清洗机，其中，治具包括：固定装置和底座；所述固定装置用于固定基板；所述底座为凹槽状，所述底座的侧壁上设置支撑部，所述支撑部用于支撑所述固定装置，从而使由所述固定装置固定的基板处于所述清洗机的正电极与负电极之间。本实用新型提供的治具，其固定装置通过固定基板的边缘来固定基板，然后将固定装置安置到底座支撑部上，从而使固定在固定装置中的基板两个表面上的待清洗区域都能充分暴露在等离子环境中，以有利于对基板的两个表面同时进行刻蚀或清洗等的工艺制程，提高了基板进行工艺制程的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN201887033U | 申请公布日期 | 2011.06.29 |
| 申请号 | CN201020607558.3 | 申请日期 | 2010.11.12 |
| 申请人 | 北大方正集团有限公司 | 发明人 | 苏新虹 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 陈源;罗建民 |
| 主权项 | 一种用于等离子清洗机的治具，其特征在于包括：固定装置和底座；所述固定装置用于固定基板；所述底座为凹槽状，所述底座的侧壁上设置支撑部，所述支撑部用于支撑所述固定装置，从而使由所述固定装置固定的基板处于所述清洗机的正电极与负电极之间。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦5层 | ||