发明名称 |
等离子刻蚀机硅片定压施压夹具 |
摘要 |
一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具,包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手,两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上,在两根立柱螺杆的上段设有螺纹,复位弹簧套装在立柱螺杆的上段,压板套装在两根立柱螺杆上,并由收紧螺母收紧,收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间,而压板由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧,从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这样就能精确控制整叠硅片的压力,并可减少硅片四周受力的不均,使产品性能一致,刻蚀效果好。 |
申请公布号 |
CN201887012U |
申请公布日期 |
2011.06.29 |
申请号 |
CN201020628231.4 |
申请日期 |
2010.11.29 |
申请人 |
常州亿晶光电科技有限公司 |
发明人 |
宋佳 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
周祥生 |
主权项 |
一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具,其特征是:包括夹具体(1)、立柱螺杆(2)、复位弹簧(3)、压板(4)、收紧螺母(5)和数控扭力扳手(6),两根立柱螺杆(2)的下端固定在夹具体(1)上,在两根立柱螺杆(2)的上段设有螺纹,复位弹簧(3)套装在立柱螺杆(2)的上段,压板(4)套装在两根立柱螺杆(2)上,并由收紧螺母(5)收紧,收紧螺母(5)由数控扭力扳手(6)定扭矩收紧。 |
地址 |
213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 |