| 发明名称 | 原料回收方法及用于原料回收的收集机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种原料回收方法，该原料回收方法从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物的原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该原料回收方法具有：凝固工序，通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使未反应的原料气体凝固，并再次析出上述原料；回收工序，其从上述制冷剂中分离并回收在上述凝固工序中再次析出的上述原料。 | ||
| 申请公布号 | CN102112653A | 申请公布日期 | 2011.06.29 |
| 申请号 | CN200980130137.6 | 申请日期 | 2009.08.04 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 五味淳;水泽宁;波多野达夫;原正道;山本薰;安室千晃 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;B01D53/14(2006.01)I;B01D53/18(2006.01)I;B01D53/72(2006.01)I;B01D53/77(2006.01)I;C23C16/16(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种原料回收方法，其从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在上述处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物的上述原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该原料回收方法具有：凝固工序，通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使未反应的原料气体凝固，并再次析出上述原料；回收工序，其从上述制冷剂中分离并回收在上述凝固工序中再次析出的上述原料。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||