发明名称 |
一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器 |
摘要 |
本实用新型公开一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器,包括硅芯片和陶瓷基板,硅芯片位于陶瓷基板的上方,在硅芯片的上表面四边对称分布设有4个加热元件和4个热传感测温元件,在加热元件与热传感测温元件之间设置有隔热槽,在硅芯片的背面的热传感测温元件的下方设置有隔热空腔,硅芯片和陶瓷基板之间设置有陶瓷上金层和硅上金层,且陶瓷上金层和硅上金层通过金金键合工艺实现连接,用于硅芯片与陶瓷基板之间的热连接。整个传感器的制备过程,所使用的为标准CMOS工艺,且后处理工艺简单,制备的隔热槽和隔热空腔能够有效的增强芯片的灵敏度,并降低芯片的热传导损失和传感器的热容量,减小传感器的响应时间。 |
申请公布号 |
CN201886035U |
申请公布日期 |
2011.06.29 |
申请号 |
CN201020658402.8 |
申请日期 |
2010.12.14 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
董自强;黄庆安;秦明 |
分类号 |
G01P5/10(2006.01)I;G01P13/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01P5/10(2006.01)I |
代理机构 |
南京天翼专利代理有限责任公司 32112 |
代理人 |
汤志武 |
主权项 |
一种具有热隔离结构的热式风速风向传感器,包括硅芯片(1)和陶瓷基板(20),硅芯片(1)位于陶瓷基板(20)的上方,在硅芯片(1)的上表面四边对称分布设有4个加热元件(9)和4个热传感测温元件(15),其特征在于在加热元件(9)与热传感测温元件(15)之间设置有隔热槽(16),在硅芯片(1)的背面的热传感测温元件(15)的下方设置有隔热空腔(17)。 |
地址 |
210096 江苏省南京市四牌楼2号 |