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发明名称
ELECTRIC PRECIPITATOR FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR DUST AND SCRUBBER WITH THE SAME
摘要
申请公布号
KR101044783(B1)
申请公布日期
2011.06.29
申请号
KR20090014399
申请日期
2009.02.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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