用于高生产量原子层沉积的设备和方法

摘要

一种以连续方式沉积膜的原子层沉积设备。本设备包括沿运输方向延伸并且至少由第一和第二壁限定的加工隧道。这些壁相互平行并且允许平的衬底容纳在它们之间。本设备进一步包括运输系统，以使一排衬底或带子形状的连续衬底移动而通过隧道。至少加工隧道的第一壁设置有多个气体注入通道，在运输方向上观看，这多个气体注入通道分别相继连接到第一前驱气体源、净化气体源、第二前驱气体源和净化气体源，从而形成这样的隧道区段，在使用中该隧道区段包括分别装有第一前驱气体、净化气体、第二前驱气体和净化气体的连续区域。

主权项

一种原子层沉积设备，包括：加工隧道，所述加工隧道沿运输方向延伸，并且至少由第一和第二壁限定，所述壁相互平行并且隔开，以允许与所述壁平行地定向的基本平的衬底被容纳在它们之间；运输系统，用于使一排所述衬底或带子形状的连续衬底从所述隧道的入口沿所述运输方向运载并移动到所述隧道的出口；其中，至少所述加工隧道的所述第一壁设置有多个气体注入通道，所述通道以隔开的方式沿所述运输方向布置，并且在所述运输方向上观看，所述通道相继地分别连接到第一前体气体源、净化气体源、第二前体气体源和净化气体源，以形成一隧道区段，在使用中所述隧道区段包括分别容纳有第一前体气体、净化气体、第二前体气体和净化气体的连续区域，并且其中，两个或两个以上这样的区段在所述运输方向上一个接一个地布置。