通过IC中感应的应力感测环境参数

摘要

提供了一种用于感测传感器环境的物理参数特性值的传感器。以半导体技术实现该传感器。传感器的电子电路的行为受应力的影响。该应力由覆盖电路或仅覆盖电路一部分的膜感应出。该应力由膜的材料引起，该材料的维度取决于参数的值。这种相关性不同于电路衬底与相同参数的相关性。

主权项

一种包括传感器(200)的器件(200；300)，所述传感器(200)用于感测对传感器的环境加以指示的物理参数的值，其中：所述传感器包括集成电子电路，该集成电子电路包括功能部件；所述传感器包括根据物理参数的值而影响电路的材料(202)中应力大小的装置；所述装置包括在结构上与电路耦合并且具有第一膨胀系数的层(204)，所述第一膨胀系数具有与物理参数的第一相关性；材料的第二膨胀系数具有与物理参数的第二相关性；所述第一相关性与所述第二相关性不同；应力确定功能部件的电特性；以及电子电路可操作以产生表示所述电特性的输出信号。