高速多级透平真空泵及其抽真空方法

摘要

本发明公开了一种高速多级透平真空泵及其抽真空方法，属于透平真空泵技术领域，通过多级高速离心叶轮实现了多工艺点、不同真空度的抽取，其驱动电机通过齿轮增速箱升速后与主轴连接，主轴支承悬架于机壳内，在主轴上同向串接设置一组离心叶轮，末级离心叶轮外侧配合设置平衡盘，各级离心叶轮与机壳之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳上相应设置一组吸入口和一个排出口，平衡盘与机壳之间构成平衡腔，机壳上配合设置将平衡腔与各吸入口连通的平衡管；采用了单轴多级抽取结构，使得单机既能实现多个工艺点、多级真空度的同时抽取，大幅度降低真空系统能耗，同时具有结构紧凑、可靠性高、无需工封液环、环境友好等优点。

主权项

高速多级透平真空泵，其特征在于包括机壳（16）及配合连接的驱动电机（1）、齿轮增速箱（3），齿轮增速箱（3）采用单级增速，其输入端与驱动电机（1）传动连接，输出端与主轴（4）前端传动连接，主轴（4）通过安装于机壳（16）两端的前轴承座（5）、后轴承座（5a）内的径向滑动轴承（14a、14）支承悬架于机壳（16）内，机壳（16）内的主轴（4）上按一定间距同向串接设置一组离心叶轮（7），末级离心叶轮（7）外侧配合设置平衡盘（8），各级离心叶轮（7）与机壳（16）之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳（16）上相应设置一组分别与各工作室连通的吸入口（6）和一个与最尾端的工作室连通的排出口（9），平衡盘（8）与机壳（16）之间构成平衡腔，机壳（16）上配合设置将平衡腔与各吸入口（6）连通的平衡管（10）；所述的离心叶轮（7）为吸入端向前延伸和自由曲面的闭式结构；所述的一组离心叶轮（7）除末级的离心叶轮（7）外，分别在外侧配合设置隔板（18）、隔板密封器（19）；所述的一组离心叶轮（7）的进口处分别配合设置轮盖密封器（17）；所述隔板密封器（19）和轮盖密封器（17）分别采用迷宫式结构；相邻离心叶轮（7）之间的主轴（4）上套接设置定距套（20）；某个吸入口（6）能够被封闭。