一种获得方镜连续面形值的方法

摘要

本发明提出一种获得方镜连续面形值的方法，包括以下步骤：启动含有方镜的工件台；设定数据采集装置的采样间隔；使用所述数据采集装置对所述方镜面形进行数据采样，获取采样数据并将所述采样数据发送到服务器保存；在所述服务器中使用Nyquist定律对所述采样数据进行处理，得出所述方镜的连续面形值。本发明一种获得方镜连续面形值的方法能够获得更加精确的方镜连续面形值，减少误差。

主权项

一种获得方镜连续面形值的方法，其特征在于包括以下步骤：启动含有方镜的工件台；设定数据采集装置的采样间隔；使用所述数据采集装置对所述方镜面形进行数据采样，获取采样数据并将所述采样数据发送到服务器保存；在所述服务器中使用Nyquist定律对所述采样数据进行处理，得出所述方镜的连续面形值；其中，所述数据采集装置为激光干涉仪，所采样的方镜面形数据是通过以下方式获得：先定义工件台上两相互垂直的方向X向和Y向，两台激光干涉仪放置于工件台一侧的X向和Y向，激光干涉仪分别向工件台的X向和Y向各发出两束激光，命名为X1、X2和Y1、Y2，其中，X1与X2处于同一水平位置；当测X向方镜时，在Y方向上，Y向的两束激光控制Y轴上位移与旋转，使用X1光束作为参考光束，X2光束作为测量光束，在Y方向以步进方式进行，干涉仪所记录的两束光束的差值为方镜表面到干涉仪的实际距离，当从左到右移动后，再沿反方向返回，此时，X1与X2的角色互换，由X2作为参考光束，而X1则作为测量光束；当测Y方向方镜时，这个过程相反过来，X光束用来控制X轴上的位移与旋转，Y向光束用来测量方镜面形。