发明名称 调整机构
摘要 本发明提出了一种调整机构,包括从下到上设置的底座、X向结构、θ向结构和Y向结构。X向结构包括X向定位调整模块、X向调整元件和X向滑板;θ向结构包括θ向定位调整模块、θ向调整元件和定位杆;以及Y向结构包括Y向定位调整模块、Y向调整元件和Y向滑板。本发明是基于调整元件的转动来带动各轴的运动。三个方向的结构有机的结合在一起,同时又互不干扰。本机构易于加工制造,且制造成本低,装配简单、可靠。能够调整自身的水平度,并能实现水平面上X向、Y向和θ向的位置调整,操作简单。降低了对安装面的水平度和定位精度等方面的要求,并且在系统集成调试的过程中,可以根据实际需要进行六自由度的位置调整。
申请公布号 CN102109778A 申请公布日期 2011.06.29
申请号 CN200910247416.2 申请日期 2009.12.29
申请人 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 发明人 马佳;马喜宝
分类号 G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F9/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种调整机构,包括从下到上设置的X向调整结构、θ向调整结构和Y向调整结构,其特征在于:所述X向调整结构包括X向定位调整模块,X向调整元件和X向滑板,所述X向调整元件通过微调所述X向定位调整模块使所述X向滑板产生沿X方向的位移;所述θ向调整结构包括θ向定位调整模块,θ向调整元件和Y向滑板,所述θ向调整元件通过微调所述θ向定位调整模块使所述Y向滑板产生沿θ方向的旋转;所述Y向调整结构包括Y向定位调整模块,Y向调整元件和Y向滑板,所述Y向调整元件通过微调所述Y向定位调整模块使所述Y向滑板产生沿Y方向的位移。
地址 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号