基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法

摘要

一种微电子机械系统技术领域的基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法，包括：在二氧化硅上旋涂光刻胶并进行曝光、显影处理；将真空室抽真空，将蒸发舟进行升温加电处理，最后把铝丝连续输送至蒸发舟上，制成铝层；在铝层上真空沉积第一聚对二甲苯基层，然后采用磁控溅射法在铝层上依次溅射钛层和铂层，然后通过剥离工艺对钛层和铂层进行金属图形化处理；在铂层上二次真空沉积第二聚对二甲苯基层，然后利用氧等离子体干法刻蚀对第二聚对二甲苯基层进行图形化，最后采用湿法刻蚀去除铝层，制得基于在空气和液体中工作的热微驱动器。本发明制备所得热微驱动器具有低功耗低工作温度的特点，可应用于生物领域，不会产生高温杀死细胞的影响。

主权项

一种基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：选择二氧化硅的厚度为5000埃的硅‑二氧化硅基片，在二氧化硅上旋涂光刻胶并进行曝光、显影处理；第二步：在显影好的光刻胶上蒸镀厚度为1.4μm的铝层：将真空室抽真空，将蒸发舟进行升温加电处理，最后把铝丝连续输送至蒸发舟上，制成铝层；第三步：在铝层上真空沉积聚对二甲苯作为第一基层，然后采用磁控溅射法在第一基层上依次溅射钛层和铂层，然后通过剥离工艺对钛层和铂层进行金属图形化处理；第四步：在铂层上二次真空沉积聚对二甲苯层作为第二基层，然后利用氧等离子体干法刻蚀对第二基层进行图形化，最后采用湿法刻蚀去除铝层，制得基于在空气和液体中工作的热微驱动器。