| 发明名称 |
Chuck for holding a device under test |
| 摘要 |
A chuck for a probe station.
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| 申请公布号 |
US7969173(B2) |
申请公布日期 |
2011.06.28 |
| 申请号 |
US20070977134 |
申请日期 |
2007.10.23 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
DUNKLEE JOHN |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R31/26;G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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