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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD.
摘要
申请公布号 NL2005741(A) 申请公布日期 2011.06.27
申请号 NL20102005741 申请日期 2010.11.22
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 NIENHUYS, HAN-KWANG;JONKERS, PETER;HUIJBERTS, ALEX
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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