发明名称 METHOD OF PRODUCING A PLATE-SHAPED STRUCTURE, IN PARTICULAR, FROM SILICON, USE OF SAID METHOD AND PLATE-SHAPED STRUCTURE THUS PRODUCED, IN PARTICULAR FROM SILICON
摘要
申请公布号 KR101044503(B1) 申请公布日期 2011.06.27
申请号 KR20067008261 申请日期 2004.09.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/762 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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