傾斜上面を有するホットエッジリング

摘要

【課題】ホットエッジリングの寿命を延ばして、次の洗浄又は交換までの平均時間を増大させ、所有コストを削減するホットエッジリングを提供する。【解決手段】長寿命のホットエッジリングは、傾斜上面を備える環状体を有する。ホットエッジリングは、プラズマを用いて基板の処理を行なうプラズマ処理チャンバ内に保持される半導体基板の外側周縁部の下に位置する段部を備える。段部は、基板の外側周縁部を取り囲む垂直面を備え、傾斜上面は、垂直面の上側周縁から上側かつ外側に伸長する。【選択図】図４