发明名称 Dicing of micro-semiconductors
摘要
申请公布号 US3112850(A) 申请公布日期 1963.12.03
申请号 US19620234373 申请日期 1962.10.31
申请人 UNITED AIRCRAFT CORPORATION 发明人 GARIBOTTI DOMENICK J.
分类号 B01J19/10;B23K15/08;B28D1/22;B28D5/00;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/00;H01L21/263;H01L21/301 主分类号 B01J19/10
代理机构 代理人
主权项
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