发明名称 |
Dicing of micro-semiconductors |
摘要 |
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申请公布号 |
US3112850(A) |
申请公布日期 |
1963.12.03 |
申请号 |
US19620234373 |
申请日期 |
1962.10.31 |
申请人 |
UNITED AIRCRAFT CORPORATION |
发明人 |
GARIBOTTI DOMENICK J. |
分类号 |
B01J19/10;B23K15/08;B28D1/22;B28D5/00;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/00;H01L21/263;H01L21/301 |
主分类号 |
B01J19/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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