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发明名称 プラズマベベルエッチング装置の延長電極
摘要 <p>【課題】耐久性及びエッチング速度が向上された、プラズマベベルエッチャーのための延長電極を提供する。【解決手段】延長電極は、外周、内周、取り付け面及び、外周から内周にかけて広がるプラズマ暴露切頂円錐面を有する環状ボディを備える。【選択図】図３</p>
申请公布号 JP3168689(U) 申请公布日期 2011.06.23
申请号 JP20110002038U 申请日期 2011.04.13
申请人 ラム リサーチ コーポレーションＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ 发明人 グレゴリー・セクストン;ポール・アポンテ
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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