振动型传感器

摘要

本发明提供一种耐冲击性优秀的振动型传感器，其通过防止因施加于传感器的冲击等而产生于振动片的应力集中，来防止振动片的破损。上述振动型传感器具有：振动片(11)，其具有以预定的共振频率在平面方向弯曲振动的梁状的振动臂(15、16)，并且从振动臂(15、16)的一个端部起依次形成有第一基部(12)、第一收缩部(8)和第一支撑部(17)，而且从振动臂(15、16)的另一端部起依次形成有第二基部(13)、第二收缩部(9)和第二支撑部(18)；以及基座(23)，其用于支撑振动片(11)，振动片(11)的第一支撑部(17)和第二支撑部(18)的一个主面(31)与基座(23)连接。

主权项

一种振动型传感器，其特征在于，上述振动型传感器具有振动片和支撑上述振动片的基座，上述振动片包括：第一基部和第二基部，它们在表面和背面具有主面；振动臂，其呈梁状地延伸设置在上述第一基部和上述第二基部之间，并以预定的共振频率振动；第一收缩部，其从上述第一基部延伸设置，并且形成为在与上述振动臂的延伸设置方向正交的方向上的宽度比上述第一基部要窄；第二收缩部，其从上述第二基部延伸设置，并且形成为在与上述振动臂的延伸设置方向正交的方向上的宽度比上述第二基部要窄；第一支撑部，其从上述第一收缩部向与上述第一基部相反的方向延伸设置；以及第二支撑部，其从上述第二收缩部向与上述第二基部相反的方向延伸设置，上述第一收缩部与上述第一基部在上述振动臂的延伸方向上的尺寸比、以及上述第二收缩部与上述第二基部在上述振动臂的延伸方向上的尺寸比在50％以上且在200％以下，上述振动片的上述第一支撑部和上述第二支撑部的一个主面与上述基座连接。