具有多个腔的承载头

摘要

本发明公开了用于化学机械抛光的系统，该系统具有包括能够配置为压力区的可加压腔的承载头。该系统包括具有膜的用于在抛光期间和衬底接触的承载头。位于膜后面的可加压腔与压力输入连通。该压力输入可以向可加压腔施加不同的压力。某些可加压腔可以和不止一个压力输入连接。可以排列压力区域，其中每个区域包括一个或者多个可加压腔。通过改变构成每个压力区域的可加压腔来配置所述区域。

主权项

一种用于衬底化学机械抛光的承载头，包括：配置为连接至第一压力输入的第一通路和配置为连接至第二压力输入的第二通路；包括所述第一和第二通路的底座组件；以及结合至底座组件并具有通常圆形主体的柔性膜，所述主体的下表面提供衬底安装表面，在所述底座组件和柔性膜之间的体积形成多个可加压腔，其中第一通路和多个可加压腔的第一腔连通，并且所述第二通路和多个可加压腔的第二腔连通，并且可加压腔的数量大于进入所述承载头内通路的数量，其中至少两个所述腔与公共压力源连接，其中所述底座组件包括可配置的压力选路组件，从而可以改变结合至公共压力源的腔组。