发明名称 Substrate holding apparatus
摘要
申请公布号 EP2302989(A3) 申请公布日期 2011.06.22
申请号 EP20100175537 申请日期 2010.09.07
申请人 AISIN SEIKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SAIKI, SHUNSUKE;NAITO, TAKESHI;ASANO, TADASHI
分类号 H05K7/14 主分类号 H05K7/14
代理机构 代理人
主权项
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