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Eine Luftstrommessvorrichtung, die dazu ausgelegt ist, in einem Strömungskanal installiert zu werden, weist eine Steuerschaltung (5) und einen Erfassungsabschnitt (4) auf. Der Erfassungsabschnitt weist einen Wärmeerzeugungsabschnitt (7), einen Temperaturmessabschnitt (8) und einen Leitungsabschnitt (43) auf. Der Wärmeerzeugungsabschnitt, der Temperaturmessabschnitt und der Leitungsabschnitt sind auf einem elektrisch isolierenden Film (11) angeordnet, der auf einem Halbleitersubstrat (9) des Erfassungsabschnitts gebildet ist. Der Temperaturmessabschnitt und der Leitungsabschnitt sind aus einem Halbleiterfilm aus Silizium aufgebaut. Eine Störstellenkonzentration des Leitungsabschnitts liegt über derjenigen des Temperaturmessabschnitts. Folglich kann ein Flächenwiderstand des Leitungsabschnitts derart eingestellt werden, dass er derart geringer als derjenige des Temperaturmessabschnitts ist, dass die Erfassungsgenauigkeit einer Luftstrommenge erhöht werden kann.
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