发明名称 |
制备小尺寸图形衬底的方法 |
摘要 |
本发明提供一种制备小尺寸图形衬底的方法,其先在待形成图形的透光性半导体衬底的一表面采用曝光-光刻工艺形成图形宽度为1.5μm-2μm,图形之间间距为1.5μm-1μm、图形的高度为0.5μm-1μm的薄光刻胶层图形,再对所述薄光刻胶层图形进行处理以使其转化为不透光图形,然后在不透光图形表面涂覆厚度为3-4μm的厚光刻胶,接着使光自所述半导体衬底的另一表面进入,对所述厚光刻胶进行光刻,从而形成厚光刻胶图形,最后采用刻蚀法将所述厚光刻胶图形转移至所述半导体衬底,由此可仅凭借普通曝光机也能制备出小尺寸图形衬底,避免采用昂贵的小尺寸图形衬底制备设备,有利于企业降低成本。 |
申请公布号 |
CN102103985A |
申请公布日期 |
2011.06.22 |
申请号 |
CN201010532631.X |
申请日期 |
2010.11.04 |
申请人 |
上海蓝光科技有限公司 |
发明人 |
袁根如;陈诚;郝茂盛 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种制备小尺寸图形衬底的方法,其特征在于包括:1)在待形成图形的透光性半导体衬底的一表面采用曝光‑光刻工艺形成图形宽度为1.5μm‑2μm,图形之间间距为1.5μm‑1μm、图形的高度为0.5um‑1um的薄光刻胶层图形;2)对所述薄光刻胶层图形进行处理以使其转化为不透光图形;3)在不透光图形表面涂覆厚度为3‑4μm的厚光刻胶;4)使光自所述半导体衬底的另一表面进入,对所述厚光刻胶进行光刻,从而形成厚光刻胶图形;5)采用刻蚀法将所述厚光刻胶图形转移至所述半导体衬底。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号 |