| 发明名称 | 一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种气体传感器，特别是一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备。栅绝缘层上设表面修饰层和功能层；源电极和漏电极分别连接于功能层，功能层以n型有机半导体材料氟取代酞菁金属化合物为原料。本发明利用有机半导体材料取代无机半导体材料作为器件的功能层，在灵敏度和响应速度主要性能均达到目前市场上无机产品的同时，该二氧化氮气体传感器在制作工艺上也大为简化，只需将修饰好的基片采用一次性真空蒸镀的方法制备器件的功能层和源漏电极即完成了整个器件的制作，制备条件温和，制作周期缩短。 | ||
| 申请公布号 | CN102103102A | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN200910255704.2 | 申请日期 | 2009.12.18 |
| 申请人 | 烟台海岸带可持续发展研究所 | 发明人 | 于顺洋;许玉云;李琳娜 |
| 分类号 | G01N27/00(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 许宗富;周秀梅 |
| 主权项 | 一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器，包括栅电极(1)、栅绝缘层(2)、源电极(5)和漏电极(6)组成，其特征在于：栅绝缘层(2)上设表面修饰层(3)和功能层(4)；源电极(5)和漏电极(6)分别连接于功能层(4)，功能层(4)以n型有机半导体材料氟取代酞菁金属化合物为原料；功能层(4)厚度达到150‑300纳米。 | ||
| 地址 | 264003 山东省烟台市莱山区春晖路17号 | ||