一种陶瓷气密内腔室制造方法

摘要

本发明涉及的是一种陶瓷气密内腔室制造方法，它是用冲孔模具在陶瓷流延生瓷膜片上冲切出腔室，并用同一冲孔模具将碳膜、橡胶纸等冲切出的膜片镶入腔室中，腔室膜片叠放在生瓷膜片之间。经层压、共烧结，镶入腔室的碳膜挥发后，形成气密腔室。该制造方法可获得结构完整、强度高、气密性好的陶瓷气密腔室。腔室的体积可以任意调整，高度可以在40μm-1mm任意控制。可用于氧气传感器、电容式压力传感器的陶瓷气密工作腔室的制造。

主权项

一种陶瓷气密性内腔室制造方法，包括：它是采用高温陶瓷共烧结工艺，是在陶瓷流延膜片上冲切出所需形状的孔，在孔内填充形状相同的低温易挥发支撑物质，依次叠放在上下支撑陶瓷流延膜片之间叠层，装入密封袋真空包封，温水等静压层压，高温共烧。在升温的过程中保持一定的升温曲线，低温易挥发支撑物质挥发，形成气密腔室。