一种纳米复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米复合薄膜的制备方法。本发明利用中频磁控溅射和直流磁控溅射技术分别溅射TiAl复合靶和石墨靶，制备了与底材结合强度高，具有高韧性、低摩擦的三元纳米复合薄膜。纳米复合薄膜具有较高硬度、高韧性和良好的减摩性能，因此适用于高精度空间运动部件、微机电系统的润滑，并有望成为一种长寿命、低摩擦的新型减摩抗磨空间润滑薄膜。

主权项

一种纳米复合薄膜的制备方法，其特征在于该方法依次步骤为：A活化清洗表面：将分别在乙醇和丙酮中超声清洗过的底材置于样品室后抽真空至1.0×10‑3～2.0×10‑3Pa，通入氩气至0.5～3.0Pa，打开脉冲偏压电源，偏压调至‑500～‑1000V，占空比为50％～80％，用氩等离子体对底材表面进行活化清洗；B沉积TiAl过渡层：清洗完毕后，打开中频电源溅射TiAl复合靶，TiAl复合靶中两种组分体积比为Ti∶Al＝1∶1～6∶1，将溅射电流调至1.5～3.0A，同时脉冲偏压调至‑100～‑400V，占空比为50％～80％，沉积10～20分钟；C沉积Ti‑Al‑C/DLC复合薄膜：同时打开直流电源溅射石墨靶，中频电源溅射电流为0.8～1.0A，溅射电压为390～450V；直流电源溅射电流为1.0～1.2A，溅射电压为400～450V。脉冲偏压为‑100～‑300V，占空比为50％～80％，沉积100～150分钟，在底材表面沉积了Ti‑Al‑C/DLC三元纳米复合薄膜。