用于确定真空系统的总漏率的方法以及真空系统

摘要

本发明涉及一种用于确定真空系统的总漏率的方法，该方法可连续地或循环地操作。该真空系统包括至少一个工艺室(10)以及连接于该工艺室(10)的泵送装置(16)。在根据本发明的循环确定方法中，采取如下步骤：停止向所述工艺室(10)的工艺气体供给；将运载气体供给至所述工艺室(10)；使用泵送装置(16)输送所述运载气体以及渗漏气体；测量所泵送的气体中的气体组分的量；以及基于所测量的气体组分的量确定该真空系统的总漏率。

主权项

一种用于确定真空系统的总漏率的方法，所述真空系统包括工艺室(10)以及连接于所述工艺室(10)的泵装置(16)，所述方法包括如下步骤：停止向所述工艺室(10)的工艺气体供应，将运载气体供应至所述工艺室(10)，通过所述泵装置(16)输送所述运载气体以及渗漏气体，测量所泵送的气体的气体组分的含量，以及基于所测量的所述气体组分的含量确定所述真空系统的总漏率。