| 发明名称 | 氧化物蒸镀材料、透明导电膜以及太阳能电池 | ||
| 摘要 | 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Ce/In原子数比计含0.001～0.110的铈的烧结体构成，且CIE1976表色系中的L*值为62～95。L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少的情况下，也能够通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见光到近红外区域具有高透过性的透明导电膜，且由于氧气导入量少，能够缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，由此，也能够减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。 | ||
| 申请公布号 | CN102102173A | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN201010559242.6 | 申请日期 | 2010.11.22 |
| 申请人 | 住友金属矿山株式会社 | 发明人 | 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;曽我部健太郎;大城梓;矢田久贵 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 菅兴成;吴小瑛 |
| 主权项 | 一种氧化物蒸镀材料，其特征在于，所述氧化物蒸镀材料由以氧化铟为主要成分且含铈的烧结体构成，铈含量以Ce/In原子数比计为0.001～0.110，并且，CIE1976表色系中的L*值为62～95。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||