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Positioniervorrichtung (100), welche ein erstes Stellglied (12) umfasst, welches an einem Trägerelement (14) angeordnet ist und dessen Ausdehnung in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des TrägereU1(t) (16) änderbar ist, wobei an dem Trägerelement (14) mindestens ein zweites Stellglied (22) angeordnet ist, dessen Ausdehnung in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des Trägerelementes (14) in Abhängigkeit eines Kompensationssignals U2(t) (28) änderbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellglieder unterschiedliche Massen oder Materialeigenschaften besitzen und das Kompensationssignal (28) mit Ausnahme eines konstanten Offsets U0 im Wesentlichen proportional zum Steuersignal (16) ist (U2(t) = U0 +αU1(t)), wobei sich die durch die Ausdehnungsänderungen des ersten Stellglieds (12) und des zweiten Stellglieds (22) auf das Trägerelement (14) ausgeübten Kräfte zumindest teilweise aufheben und wobei die Proportionalitätskonstanteαgemäßeingestellt ist, wobei ci die Längenänderungskoeffizienten und m~ i die effektiven Massen der Stellglieder (12, 22) sind und wobei die Proportionalitätskonstanteαpositiv...
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