Verfahren zur Herstellung eines Schichtverbundes mit epitaktisch gewachsenen Schichten aus einem magnetischen Formgedächtnis-Material und Schichtverbund mit epitaktischen Schichten aus einem magnetischen Formgedächtnis-Material sowie dessen Verwendung

摘要

Verfahren zur Herstellung eines Schichtverbundes mit epitaktisch gewachsenen Schichten aus einem magnetischen Formgedächtnis-Material, bei dem auf ein ein- oder mehrschichtiges Substrat mindestens eine Opferschicht aufgebracht wird, nachfolgend die Opferschicht strukturiert wird, dann mindestens eine Schicht aus einem magnetischen Formgedächtnis-Material aufgebracht wird und aus dem so hergestellten Verbund wiederum nachfolgend die Opferschicht nur teilweise entfernt wird, und auf die Schichten aus dem magnetischen Formgedächtnis-Material eine oder mehrere weitere Schichten aufgebracht werden, die zur Erzeugung einer rückstellenden Kraft für die Schichten aus dem magnetischen Formgedächtnismaterial dienen, wobei die Substratoberfläche oder eine oder mehrere Substratschichten oder der Substratbereich, der mit der Opferschicht stoffschlüssig verbunden ist, eine einkristalline oder biaxial texturierte Struktur aufweist, und die Opferschicht das epitaktische Wachstum der Schichten aus dem magnetischen Formgedächtnis-Material gemäß der epitaktischen Struktur des einkristallinen oder biaxial texturierten Substratmateriales realisiert.