| 发明名称 |
SCRUBBER BOX AND METHOD FOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110069146(A) |
申请公布日期 |
2011.06.22 |
| 申请号 |
KR20117010464 |
申请日期 |
2004.10.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
YUDOVSKY JOSEPH;TEPMAN AVI;REYNOLDS KENNETH R.;ACHKIRE YOUNES;MAROHL DAN A.;GHANAYEM STEVE G.;POLYAK ALEXANDER S.;ETTINGER GARY;ZHANG HAOCHUAN;CHEN HUI |
| 分类号 |
B08B1/04;H01L21/00;H01L21/463 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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