| 发明名称 | 一种用于转移硅片的工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于转移硅片的工具，包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管的顶部还设有抽真空接管，所述吸盘的表面设有至少2个吸口，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~30%。本实用新型使吸盘的吸力分布更加均匀，并可以缓冲抽真空吸力，充分考虑了硅片受力的均匀性，有效减少硅片碎片率，具有现实的积极意义。 | ||
| 申请公布号 | CN201877410U | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN201020640328.7 | 申请日期 | 2010.12.02 |
| 申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司 | 发明人 | 王虎;党继东;孟祥熙;辛国军;李文;朱娟娟;章灵军 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 一种用于转移硅片的工具，包括吸盘(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)，所述中空真空管(3)设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管(2)的顶部还设有抽真空接管(4)，其特征在于：所述吸盘(1)的表面设有至少2个吸口，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~30%。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 | ||