基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法及其装置

摘要

本发明公开一种基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法及其装置，属于微细电化学加工领域。本发明所述的方法是首先把阳极与阴极芯模放置在电铸槽内，之后向电铸槽内加电铸液、阴阳极接通电源，当芯模上电铸层达到规定厚度之后断电，停止供液与电铸，取出芯模脱模去胶，电铸过程中，芯模外叠加有与阴阳极间电流方向垂直的磁场。实施上述方法所需要的装置，包括电铸系统、电铸液温度控制系统和电铸液循环系统，电铸系统内的芯模外侧设有磁场发生器。本发明解决了高深宽(径)比微结构电铸的液相传质受限问题，所制备的电铸件厚度均匀，沉积缺陷少、组织致密。

主权项

基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，首先把阳极与阴极芯模放置在电铸槽内，之后向电铸槽内加电铸液、阴阳极接通电源，当芯模上电铸层达到规定厚度之后断电，停止供液和电铸，取出芯模脱模去胶，其特征在于：电铸过程中，芯模外叠加有与阴阳极间电流方向垂直的磁场。