| 发明名称 | 研磨垫及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明目的在于提供耐久性优良、并且研磨层与基材层的粘合性良好的研磨垫。本发明的第一发明是在基材层上设置研磨层的研磨垫，其特征在于，所述研磨层包含具有平均气泡直径20～300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体，所述聚氨酯发泡体含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，所述含活性氢化合物含有30～85重量％官能团数2～4、羟值20～100mg KOH/g的高分子量多元醇。 | ||
| 申请公布号 | CN101583464B | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN200780049906.0 | 申请日期 | 2007.11.27 |
| 申请人 | 东洋橡胶工业株式会社 | 发明人 | 福田武司;广濑纯司;中村贤治;堂浦真人;佐藤彰则 |
| 分类号 | B24B37/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
| 主权项 | 一种研磨垫，在基材层上设置研磨层，其特征在于，所述研磨层包含具有平均气泡直径20～300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体，所述聚氨酯发泡体含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，所述含活性氢化合物含有30～85重量％官能团数2～4、羟值20～100mgKOH/g的高分子量多元醇。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||