AQUEOUS ACIDIC FORMULATIONS FOR COPPER OXIDE ETCH RESIDUE REMOVAL AND PREVENTION OF COPPER ELECTRODEPOSITION,申请号EP20090736352-传众专利搜索

发明名称	AQUEOUS ACIDIC FORMULATIONS FOR COPPER OXIDE ETCH RESIDUE REMOVAL AND PREVENTION OF COPPER ELECTRODEPOSITION
摘要
申请公布号	EP2334774(A1)	申请公布日期	2011.06.22
申请号	EP20090736352	申请日期	2009.10.06
申请人	AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS, INC.	发明人	WESTWOOD, GLENN;HONG, SEONG JIN;KIM, SANG IN
分类号	C11D1/72;C11D3/02;C11D3/30;C11D3/33;C11D7/08;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02	主分类号	C11D1/72
代理机构		代理人
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