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Verfahren zur Steuerung eines Überführungsroboters, der in derselben Ebene in einem Zustand gedreht und teleskopisch bewegt wird, in dem ein zu bearbeitendes Substrat durch eine Roboterhand getragen wird, um das Substrat zwischen einer Vielzahl von Bearbeitungskammern, die in einer Drehrichtung des Überführungsroboters angeordnet sind, zu überführen, umfassend ein Ausführen einer Reihe von Aktionen des Überführungsroboters zu einem Zeitpunkt des Überführens des in einer Bearbeitungskammer vorhandenen Substrats zu einer vorgegebenen Position in einer anderen Bearbeitungskammer durch einen einzigen Befehl.
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