| 发明名称 | 用于转移硅片的工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于转移硅片的工具，包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，所述抽真空开关包括至少2个开孔，各开孔的面积小于等于1平方毫米，开孔的总面积为0.2~9平方毫米。本实用新型可以防止无尘手套被吸入石英握管内，保证了该工具可以连续使用，不会影响连续生产。 | ||
| 申请公布号 | CN201877411U | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN201020640363.9 | 申请日期 | 2010.12.02 |
| 申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司 | 发明人 | 王虎;党继东;孟祥熙;辛国军;费倍辈;衡阳;章灵军 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 一种用于转移硅片的工具，包括吸盘(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，其特征在于：所述抽真空开关包括至少2个开孔(4)，各开孔的面积小于等于1平方毫米，开孔的总面积为0.2~9平方毫米。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 | ||