一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法

摘要

本发明提供了一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法，属于电真空吸气元件制造技术领域。制备工艺为：以Ti粉和Mo粉为原料在混料机上混合，将混合均匀的原料粉末与粘结剂按体积比混合并在混炼机上混炼，冷却后破碎成注射喂料，再进行注射成型，对注射成型的坯件采用二步脱脂工艺处理，先对注射成型坯件进行溶剂脱脂，再进行真空热脱脂，最终对脱脂后的坯件进行真空烧结，制备成真空吸气元件。本发明的优点在于：可以制备出形状复杂、尺寸精度高的吸气元件以满足各类电真空器件不同形状的空间对吸气元件复杂形状及尺寸精度的要求。产品孔径、孔隙度控制均匀，吸气元件的孔隙度可达到50％以上。

主权项

一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法，所述方法以Ti粉和Mo粉为原料在混料机上混合，将混合均匀的原料粉末与粘结剂按体积比混合并在混炼机上混炼，冷却后破碎成注射喂料，再进行注射成型，对注射成型的坯件采用二步脱脂工艺处理，先对注射成型坯件进行溶剂脱脂，再进行真空热脱脂，最终对脱脂后的坯件进行真空烧结，制备成真空吸气元件；其特征在于，所述方法的制备工艺为：将平均粒径35μm的Ti粉与平均粒径35μm的Mo粉以重量比9∶1的比例配料放入混料机中，在Ar气保护下混合20小时制成原料粉末；按重量百分比将60％石蜡、14％高密度聚乙烯、14％聚丙烯、12％硬质酸混合均匀制成粘结剂；将混合的原料粉末与粘结剂按体积比40∶60在混炼机上进行混炼，混炼温度为150℃，混炼3h后冷却到室温破碎成注射喂料；将喂料在注射成型机上进行注射成型，注射温度为175℃，注射压力为70MPa；将注射坯件在三氯乙烯中脱脂8h，然后取出坯件在真空烘箱中烘干，烘烤温度80℃时间3小时，再将烘干坯件在真空炉中进一步加热脱脂，真空度10‑2Pa以上，脱脂温度700℃保温30分钟，然后降到室温出炉；将脱脂后的注射坯件，在真空烧结炉中进行烧结，真空度5×10‑3Pa以上，烧结温度930℃，保温时间30分钟，降温出炉后便制得该吸气元件。