无定形二氧化硅粉末、其制造方法及半导体密封材料

摘要

提供提高了HTSL特性及HTOL特性的适于半导体密封材料用的无定形二氧化硅粉末、其制造方法。无定形二氧化硅粉末，其特征在于，所述无定形二氧化硅粉末中采用原子吸收分光光度法测得的Al含量以Al2O3换算为0.03～20质量％，无定形二氧化硅粉末的平均粒径为50μm以下，而且，根据平均粒径将该无定形二氧化硅粉末分为两种粉末时，与粒径大于平均粒径的粉末相比，粒径小于平均粒径的粉末的Al2O3换算含有率更大。

主权项

一种无定形二氧化硅粉末，其特征在于，所述无定形二氧化硅粉末中采用下述原子吸收分光光度法测得的Al含量以Al2O3换算为0.03～20质量％，无定形二氧化硅粉末的平均粒径为8～50μm，而且，根据平均粒径将该无定形二氧化硅粉末分为两种粉末时，与粒径大于平均粒径的粉末相比，粒径小于平均粒径的粉末的Al2O3换算含有率更大，粒径与平均粒径相等的粉末被算入粒径大于平均粒径的粉末中，原子吸收分光光度法：在铂皿中准确称量1g样品，将加入了20ml特级试剂氢氟酸和1ml特级试剂高氯酸的铂皿静置于加热到300℃的砂浴中15分钟，然后冷却到室温，加入纯水配制成25ml溶液，使用原子吸收光度计通过校正曲线法定量该溶液的Al含量。