摘要 |
Es wird eine Vorrichtung (10) zum Modifizieren eines Aspektverhältnisses eines Elektronenstrahls (28) zum Erzeugen eines Brennpunktes (46) mit einer gewünschten Größe und einem gewünschten Aspektverhältnis auf einer Target-Anode (48) offengelegt. Die Vorrichtung (10) enthält ein für die Erzeugung eines Elektronenstrahls (28) mit einer ersten Aspektverhältnisform konfiguriertes Emitterelement (26) und eine benachbart zu dem Emitterelement (26) positionierte Extraktionselektrode (20), um den Elektronenstrahl (28) daraus zu extrahieren, wobei die Extraktionselektrode (20) eine dadurch hindurchführende Öffnung (24) enthält. Die Vorrichtung (10) enthält auch wenigstens eine Formungselektrode (38), die so positioniert ist, dass sie den Elektronenstrahl (28) nach dem Passieren der Extraktionselektrode (20) aufnimmt, wobei die Formungselektrode (38) eine nicht-runde Apertur (40) darin definiert und dafür konfiguriert ist, wenigstens eines von einer Formung und Fokussierung des Elektronenstrahls (28) zu erzeugen, um eine sich von der ersten Aspektverhältnisform unterscheidende zweite Aspektverhältnisform zu haben, um so einen Brennpunkt (46) mit einer gewünschten Größe und einem gewünschten Aspektverhältnis auf einer Target-Anode (48) zu erzeugen.
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