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Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Anordnung zur Symmetrisierung und/oder Homogenisierung optischer Strahlung einer Lichtquelle. Die Anordnung weist zwei Abbildungsoptiken auf, die so hintereinander angeordnet sind, dass ein durch die erste Abbildungsoptik hindurch tretendes paralleles Strahlenbündel zwischen der ersten und der zweiten Abbildungsoptik eine Strahltaille bildet und eine Winkelverteilung des Strahlenbündels im Bereich der Strahltaille durch die zweite Abbildungsoptik auf die Brennebene der zweiten Abbildungsoptik abgebildet wird. Im Bereich der Strahltaille befindet sich dabei ein optisches Element, das eine Homogenisierung der Winkelverteilung der Strahlung vor der zweiten Abbildungsoptik erzielt, insbesondere mindestens ein Mikrolinsenarray. Mit der vorgeschlagenen Anordnung wird eine Symmetrisierung und/oder Homogenisierung der Winkelverteilung hinter dem optischen System der optischen Strahlung erreicht, so dass eine örtliche Homogenität nicht nur in der Zielebene, sondern auch im Bereich hinter der Zielebene erreicht wird.
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