| 发明名称 | 靶材坯料打磨装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种靶材坯料打磨装置，包括：进料口为四边形的漏斗，漏斗进料口相对的两边之间连接有支撑平台，漏斗进料口的三个边上方分别设置有立板。本实用新型实施例所提供的靶材坯料打磨装置中，通过在漏斗进料口的三个边上设置的立板，能够有效的阻挡溅射出的颗粒，防止伤到操作人员；通过设置的漏斗装置，能够及时的收集溅射出的颗粒，能够解决溅射出的细小颗粒散落在周围的地面的问题，减小颗粒物对工作环境的污染。 | ||
| 申请公布号 | CN201872049U | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN201020589675.1 | 申请日期 | 2010.10.29 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;周伟君 |
| 分类号 | B24B19/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材坯料打磨装置，其特征在于，包括：进料口为四边形的漏斗，漏斗进料口相对的两边之间连接有支撑平台，漏斗进料口的三个边上方分别设置有立板。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园安山路198号 | ||