发明名称 具有静电消除装置之运送装置
摘要
申请公布号 TWM406256 申请公布日期 2011.06.21
申请号 TW100201596 申请日期 2011.01.25
申请人 威驰股份有限公司 台北市松山区延寿街345号;资士多股份有限公司 发明人 秦哲仁
分类号 H01L21/677;H01L21/687;H01L23/60;H05F3/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;李政宪 台北市信义区东兴路37号9楼;王立成 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项 一种具有静电消除装置之运送装置,其包含:一机械手臂;至少一承载单元,该承载单元具有一结合在机械手臂的托臂,及复数个排列结合在托臂上面的支撑垫,用以接触及支撑被运送物;及至少一静电消除装置,该静电消除装置包含至少一高压空气产生器及复数个静电消除器,该高压空气产生器结合在机械手臂,该静电消除器分别结合在各支撑垫的一侧,并连接在高压空气产生器,用以消除被运送物的静电。如申请专利范围第1项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,包含二层以上的承载单元,各承载单元的托臂在不同水平呈上下层状排列,并分别结合在该机械手臂。如申请专利范围第1项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,包含二排以上的承载单元,各承载单元的托臂在同一水平相互平行排列,并分别结合在该机械手臂,使各支撑垫及静电消除器呈矩阵排列。如申请专利范围第2项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,包含二排以上的承载单元,各承载单元的托臂在同一水平相互平行排列,并分别结合在该机械手臂,使各支撑垫及静电消除器呈矩阵排列。如申请专利范围第1项至第4项任选一项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,该静电消除器系埋入托臂内或结合在托臂一侧。如申请专利范围第5项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,该静电消除器系为具有放电装置及喷嘴的离子喷嘴,该喷嘴透过高压气体管路连接该高压空气产生器。如申请专利范围第1项至第4项任选一项所述具有静电消除装置之运送装置,其中,该静电消除器包含至少一结合在该托臂的绝缘管路、复数个分别结合在支架的放电装置、复数个分别结合在绝缘管路并与放电装置搭配的喷嘴、连接各喷嘴的高压气体管路,该高压气体管路连接该高压空气产生器。
地址 日本