| 主权项 |
一种制程资讯管理装置，其系构成群组管理系统者；该群组管理系统包含：2个以上之控制装置，其系分别控制对于被处理基板实行特定制程之2个以上之处理装置者；及与前述控制装置连接之制程资讯管理装置；且制程资讯管理装置具有：配方储存部，其将前述2个以上之控制装置所保持之关于制程之资讯即2个以上之配方分别与前述2个以上之控制装置予以对应而储存；受理部，其受理配方所包含之关于制程参数之资讯即制程参数资讯；配方资讯取得部，其使用前述制程参数资讯，自前述配方储存部检索配方，取得该检索之配方相关之资讯即配方资讯；及输出部，其输出前述配方资讯取得部所取得之配方资讯。如请求项1之制程资讯管理装置，其中前述制程参数资讯系包含制程参数名；前述配方资讯取得部系自前述配方储存部检索使用有以前述制程参数资讯所包含之制程参数名所识别之制程参数之配方，取得关于该检索之配方之资讯即配方资讯。如请求项1之制程资讯管理装置，其中前述制程参数资讯系包含制程参数名与制程参数的值；前述配方资讯取得部系自前述配方储存部检索使用有以前述制程参数资讯所包含之制程参数名所识别之制程参数且该制程参数的值系与前述受理部所收理之制程参数资讯所包含的值处于特定关系之值之配方，取得关于该检索之配方之资讯即配方资讯。如请求项1之制程资讯管理装置，其中前述配方包含对于制程参数之连结(link)之资讯即连结资讯，复数之配方具有对于一个制程参数之连结资讯。一种群组管理系统，其包含：2个以上之控制装置，其系分别控制对于被处理基板实行特定制程之2个以上之处理装置者；及与前述控制装置连接之制程资讯管理装置；且前述控制装置具有：控制装置侧配方储存部，其储存有为控制前述处理装置所使用之配方；配方传送部，其向前述制程资讯管理装置传送前述控制装置侧配方储存部之配方；控制部，其使用前述控制装置侧配方储存部之配方，控制前述处理装置，使其实行对被处理基板之特定制程；变更受理部，其受理配方内之制程参数之变更指示；配方变更部，其对应于前述变更受理部受理之变更指示，变更前述控制装置侧配方储存部之配方；制程参数资讯取得部，其取得关于前述变更对象之制程参数之资讯即制程参数资讯；制程参数资讯传送部，其向前述制程资讯管理装置传送前述制程参数资讯取得部所取得之制程参数资讯；配方资讯接收部，其对应前述制程参数资讯之传送，自前述制程资讯管理装置接收由于对于该制程参数资讯之制程参数之变更而受到影响之配方相关之资讯即配方资讯；及配方资讯输出部，其将前述配方资讯接收部所接收之配方资讯输出；且前述制程资讯管理装置具有：配方储存部，其可储存配方；配方接收部，其自前述2个以上控制装置接收配方；配方保存部，其将前述配方接收部接收到之配方保存在前述配方储存部；制程参数资讯接收部，其自前述控制装置接收制程参数资讯；配方资讯取得部，其使用前述制程参数资讯接收部接收到之制程参数资讯，检索前述配方储存部之1个以上之配方，取得受到对于前述制程参数资讯之制程参数变更影响之配方相关之资讯即配方资讯；及配方资讯传送部，其向前述控制装置传送前述配方资讯取得部所取得之配方资讯。如请求项5之群组管理系统，其中前述制程参数资讯传送部在前述变更受理部受理了配方内之制程参数之变更指示后、于前述配方变更部变更配方之前，向前述制程资讯管理装置传送制程参数资讯。如请求项5或6之群组管理系统，其中前述制程参数资讯包含制程参数名；前述配方资讯取得部自前述配方储存部检索使用有以前述制程参数资讯所包含之制程参数名所识别之制程参数之配方，取得关于该检索之配方之资讯即配方资讯。如请求项5之群组管理系统，其中前述制程参数资讯包含制程参数名与制程参数的值；前述配方资讯取得部自前述配方储存部检索使用有以前述制程参数资讯所包含之制程参数名所识别之制程参数且该制程参数的值系与前述接收部接收到之制程参数资讯所包含的值处于特定关系的值之配方，取得关于该检索之配方之资讯即配方资讯。如请求项5之群组管理系统，其中前述配方包含对于制程参数之连结之资讯即连结资讯，复数之配方具有对于一个制程参数之连结资讯。一种制程资讯管理装置，其系如请求项5至9中任一项之群组管理系统中所包含之该制程资讯管理装置。一种控制装置，其系如请求项5至9中任一项之群组管理系统中所包含之该控制装置。一种制程资讯管理方法，其系群组管理系统中之制程资讯管理方法；且该群组管理系统包含：2个以上之控制装置，其系分别控制对于被处理基板实行特定制程之2个以上之处理装置；该制程资讯管理方法包含：记忆步骤，其将前述2个以上之控制装置所保持之关于制程之资讯即2个以上之配方分别与前述2个以上之控制装置予以对应而记忆；受理步骤，其受理配方所包含之制程参数相关之资讯即制程参数资讯；配方资讯取得步骤，其使用前述制程参数资讯，检索上述所记忆之配方，取得关于该检索之配方之资讯即配方资讯；及输出步骤，其将在前述配方资讯取得步骤取得之配方资讯输出。一种群组管理方法，其系群组管理系统中之群组管理方法；且该群组管理系统包含：2个以上之控制装置，其系分别控制对于被处理基板实行特定制程之2个以上之处理装置；及制程资讯管理装置，其与前述控制装置连接；该群组管理方法包含：配方储存步骤，其将控制前述处理装置所使用之配方储存于前述控制装置所包含之储存部；配方传送步骤，其将储存于前述储存部之配方传送至前述制程资讯管理装置；控制步骤，其使用储存于前述储存部之配方而控制前述处理装置，使其实行对被处理基板之特定制程；变更受理步骤，其受理配方内之制程参数之变更指示；配方变更步骤，其对应于前述变更受理步骤所受理之变更指示，将储存于前述储存部之配方加以变更；制程参数资讯取得步骤，其取得关于前述变更对象之制程参数之相关资讯即制程参数资讯；制程参数资讯传送步骤，其将于前述制程参数资讯取得步骤取得之制程参数资讯传送至前述制程资讯管理装置；配方资讯接收步骤，其对应前述制程参数资讯之传送，自前述制程资讯管理装置接收由于对于该制程参数资讯之制程参数之变更而受到影响之配方相关之资讯即配方资讯；及配方资讯输出步骤，其将前述配方资讯接收步骤所接收之配方资讯输出；进一步包含：配方接受步骤，其自前述2个以上控制装置接收配方；配方保存步骤，其将于前述配方接收步骤所接收到之配方保存于前述制程资讯管理装置所包含之配方储存部；制程参数资讯接收步骤，其自前述控制装置接收制程参数资讯；配方资讯取得步骤，其使用于前述制程参数资讯接收步骤所接收到之制程参数资讯，检索前述配方储存部之1个以上之配方，取得受到对于前述制程参数资讯之制程参数变更的影响之配方的相关资讯即配方资讯；及配方资讯传送步骤，其将于前述配方资讯取得步骤所取得之配方资讯传送至前述控制装置。 |
